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HiPIMS電源

ionautics社のHiPIMS用パルサー及び電源は高い安定性があり、パルスを任意にコントロールすることが出来るので、お客様のプロセスに合わせたチューニングが可能です。
また、シンクロナイザーを使用することにより、最大8台のパルス電源及びバイアスユニットをコントロールすることが出来、より幅広い制御が可能です。