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10kw E-beam蒸着源 (ISEV10 シリーズ)

  • 270°静電偏向型
  • モジュール型プラグユニットでメンテナンスも簡単
  • 高寿命な偏向板を採用
  • フィラメントの交換がとても簡単
  • セラミックス製絶縁碍子は1ヵ所のみの使用なので安全
  • 永久磁石(AlNiCo)を使用
  • 確実にビーム位置を調整可能
  • 安定したスイープコントロールが可能

 

ビーム偏向角度       270°

ルツボ数          1個~6個

ルツボ容量         4cc、7cc、12cc、15cc、25cc

30cc、150cc

最大パワー         10kw

加速電圧          6kv~10kv

フィラメント        12VAC

XYスイープ         200Hz

ビームスポット径      8~10mm

使用材料          超高真空対応

真空度           2×10E-8Torr

水冷水量          2~3gpm

外形            260mm×145mm×98mm

重量            12.2kg

 

 

最新のモジュール型エミッターブロックは

縦型電極で配線も簡単になりました。

 

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