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CVT社製
導入ガス流量調整バルブ

超高真空オールメタル リークバルブ 

このオールメタルリークバルブは、導入ガスの流量を調整して真空装置に導入するための高性能バルブです。極めて微小流量領域から安定した調節が可能です。 また、シール部分もメタルで作られているので、450℃までのベーキングが可能です。超高真空装置用に適しています。

特 徴

  • 超高真空対応
  • 耐熱温度:450℃
  • 目盛り付き
  • メタルシール

製品オーダーガイド

型 式規 格 価 格(税抜)
VML14CF34ICF34/ICF34180,000円
ベローズ式L型 アングルバルブベローズ式L型 アングルバルブ※目盛り付き

仕 様
圧力範囲1000〜10-9 Pa
リーク量10-11 Pa・m3/sec(ガス導入圧力が1気圧の場合)
使用温度範囲-20〜200℃
ベーキング温度 250℃(バルブ閉の場合) 450℃(バルブ開の場合)
接続フランジ CF70(回転)CF34(回転)/ CF34(固定)
シール方法 メタルシール
作動方式手動(目盛り付き)

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