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ITL社製
汚れた窓ガラスが洗浄/交換可能!

カバーガラス付ビューポート 

薄膜蒸着装置、真空処理装置などで、窓ガラスが汚れてしまい窓ごと交換していませんか。 真空封止用窓ガラスの前にカバーガラスは薄い材料を使用していますので、安価に交換が可能です。

特 徴

  • 高真空対応です。(O-リングタイプ)
  • 耐熱温度は150℃です。
  • カバーガラスのみも取り扱っています。
  • ISOフランジ対応です。
  • 簡単に取り出し可能です。
  • コンパクト設計で取付も簡単です。

全体写真

カバーガラス付ビューポートVPZ100ISOWC

分解写真

カバーガラス付ビューポート
  • 接続フランジ
  • バイトンガスケット
  • kodialガラス
  • センターリング
カバーガラス付ビューポート

センターリング分解写真

カバーガラス付ビューポート
  • バイトンOリング
  • インナーリング
  • カバーガラス
  • C-リング

ISOフランジシリーズ

フランジサイズISO100ISO160ISO200
型式 VPZ100ISOWCVPZ160ISOWC VPZ200ISOWC
フランジ径(φ)mm165225285
有効内径(φ)mm92130190

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