取扱製品案内 UHV Design社取扱製品

 
 

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Epicentre基板ステージ

特徴

  • 縦型(Epicentre100、346)と横型(Epicentre282)の基板ステージが標準でご提供できます。
  • 250℃までのベイクに耐えうる超高真空仕様です。
  • Epicentre基板ステージの仕様
  Epicentre100 Epicentre346 Epicentre282
ヒーターエレメント PgG、PBNG PgG、PBNG PgG、PBNG
最高基板加熱温度
(クオーツ遮蔽室使用時)
1200℃
1000℃
1200℃
1000℃
1000℃
基板温度均一性 +/−2.5℃ +/−2.5℃ +/−2.5℃
基板回転 あり あり あり
サーモカップル タイプC、タイプK タイプC、タイプK タイプC
バイアス電圧 2kDC、80W RF
基板サイズ 〜6 インチ 〜6 インチ 〜75mm
取付フランジ 6〜12インチ 6〜12インチ 8インチ

※詳細につきましては、別途ご相談下さい

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