• 縦型（Epicentre100、346）と横型（Epicentre282）の基板ステージが標準でご提供できます。
• 250℃までのベイクに耐えうる超高真空仕様です。
• Epicentre基板ステージの仕様

	Epicentre100	Epicentre346	Epicentre282
ヒーターエレメント	PgG、PBNG	PgG、PBNG	PgG、PBNG
最高基板加熱温度 （クオーツ遮蔽室使用時）	1200℃ 1000℃	1200℃ 1000℃	1000℃
基板温度均一性	＋/−2.5℃	＋/−2.5℃	＋/−2.5℃
基板回転	あり	あり	あり
サーモカップル	タイプC、タイプK	タイプC、タイプK	タイプC
バイアス電圧	2kDC、80W RF	─	─
基板サイズ	〜6 インチ	〜6 インチ	〜75mm
取付フランジ	6〜12インチ	6〜12インチ	8インチ

※詳細につきましては、別途ご相談下さい