ピックアップ製品 UHV Design社取扱製品

 
 

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英国UHV-Design社製

XYZTマルチステージ XYZT Multi Motion

表面分析装置やその他の分析装置でスペースの少ない取付フランジには最適な本ステージは、運動力学に沿った設計でコンパクト化そして低価格化を実現しました。
このマルチステージは、取付フランジがCF114、有効内径がφ65mmと今までに無い大きさと250℃でフルベーキングが可能な超高真空対応の唯一のステージです。
XY移動は、マイクロメーターを使用することにより、ミクロン単位でサンプルの位置調整が可能です。
また±2°のチルト機構はサンプルの傾き調整には必ず必要となります。Z移動は、ミクロン単位で位置調整が可能です。

特 徴

  • X&Y軸:+/-12.5mm移動可能
  • Z軸:50mm to 200mm で選択可能
  • チルト:+/-2°手動で調整可能
  • X、Y&Z軸はモーター駆動化可能
  • モーター駆動化はオプションなので外付けが可能
  • 高い積載能力
  • 安定と信頼できる正確性そして高い繰り返し精度を実現
  • シングルベローズにより、有効内径を最大限に確保
XYZTモデルXYZT64
取付フランジCF114 M8用スルーホール
上部フランジCF114 M8用スルーホール
XY軸移動距離+/-12.5mm
XY軸移動制度手動:0.001mm,ステッピングモーター:0.0025mm/半ステップ
駆動オプション DCモーターorステッピングモーター(オリエンタルモーター社製)
Z軸移動距離50,100,150,and 200mmから選択可
駆動オプション DCモーターorステッピングモーター(オリエンタルモーター社製)
Z軸移動制度 手動:+/- 0.25mm,ステッピングモーター:+/-0.0005mm
チルト±2°
有効内径 φ65mm
ベーキング温度250℃(モーターは外してください)
導入製品径 φ29.5mmでXY軸の移動距離が確保できます

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