ピックアップ製品 UHV Design社取扱製品

 
 

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英国UHV-Design社製

上下機構 Linear Shaft Mechanism

この上下機構は、表面分析装置、蒸着装置、スパッタ装置など真空中でサンプルや蒸発源の位置調整などに使用されています。また、放射光リングのビームフィルターやビームクリーナーにも採用されています。
この上下機構は、ゲートバルブのメーカーであるVAT社も採用しているSUS316Lステンレスの溶接ベローズを使用するなど品質にこだわった製品です。
フランジサイズはCF70〜CF203、ストロークは25mm〜1000mmと豊富なラインナップも魅力的です。駆動手段として手動、モーターそして圧空ををご用意しています。

特 徴

  • 運動力学上で考えられた設計により駆動がスムーズ
  • 有効内径を最大限に大きくした設計(CF70でφ38mm)
  • 強固な構造設計により正確な位置調整が可能
  • 用途により手動、モーター、圧空駆動の選択が可能
  • シンプルなデザインで低価格を実現
  • ベローズ部分のみを交換可能
  • ベーキング250℃で超高真空対応
  • SUS316Lステンレス製
上下機構上下機構
LSM HLSMLLSMXLSMT
スタンダードロングXステージ付きチルト付き
上下機構上下機構上下機構上下機構
 

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