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英国UHV-Design社製

トランスファーロッド
試料搬送機構(トランスファーロッド) PPシリーズ

英国UHV-Design社は、超高真空対応の試料搬送機構の専門メーカーです。 15年以上の実績と設計から制作までを自社で行なう徹底した品質管理は多くの国々で高い評価を得ています。
なかでもこの試料搬送機構PPシリーズは豊富なラインナップを用意しております。

仕 様
Low
Power
StandardHigh
Power
型式 PPLPPPPH
取付フランジICF70(F35)
直進力70N180N310N
回転トルク4Nm
ペーキング温度250℃
真空超高真空対応

直進のみ

試料搬送機構(トランスファーロッド) EPPシリーズ

直進/回転

試料搬送機構(トランスファーロッド) EPPシリーズ

チャッキング機構

ウエハー搬送機構

ウォーブルスティック

 
エレベータートランスファーロッド EPPシリーズ

このエレベータートランスファーロッド(EPPシリーズ)は、従来のサンプル搬送機構に上下機構を追加した新しく今までにないサンプル搬送機構です。 今までサンプル搬送には2台の機構が必要でした。 1つは搬送(トランスファー)、もう一つは受渡し(上下運動)です。 しかし、このEPPシリーズはサンプルの搬送から受渡しまでを1台で可能にした画期的なサンプル搬送機構なのです。 このようにEPPシリーズは搬送機構と上下機構が一体構造となったため、微妙なサンプル移動調整が可能となり、搬送中にサンプルの落下が起きにくくなりました。 また、EPPシリーズは、強力な伝達トルクによる作業性、マグネットを外す事なく250℃でベーキング可能な超高真空対応である点も他社にはない特徴であります。

仕 様
取付フランジ ICF-70
真空超高真空対応
材質SUS316L
直進ストローク250 mm 〜 1200 mm
上下ストローク12.7 mm
ベーキング温度250℃
直進トルク180N
上下トルク20Nm以下
試料搬送機構(トランスファーロッド) EPPシリーズ 試料搬送機構(トランスファーロッド) EPPシリーズ

※御社使用のサンプルホルダーにあわせて先端を特注仕様が可能です。
※ストロークにより金額が変わりますので、お問い合わせ下さい。
※シャフトの回転運動はできません。(直進のみ)(寸法は、660mmストロークのものです。)

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