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ATMION(広領域型圧力・真空計)

ATMION(広領域型圧力・真空計)

表示部

  • 大気圧から超高真空(1000 〜 1.0 x 10-10 mbar)まで表示出来ます。
  • 自動ゲージ切替方式を採用していますので、取扱いが容易です。
  • フォアーライン圧力ゲージの表示も行えます(オプション)。
  • LEDでデジタル表示されるため、読み取りが容易となっています。
  • 4つのset pointが標準装備されています。フォアーライン圧力ゲージ装着時にはさらに2つのset point が装備されます(オプション)。
  • mbar,Pa,Torr の3種類の圧力単位が切替表示出来ます。
  • 表示部は3桁と対数のデジタル表示となっています。
  • RS232C及びアナログ出力が標準装備されています。
  • コンパクト設計なので、19インチラックへの取付けが容易です。

検出部

  • BAゲージとピラニゲージが1つフランジに装着されたATMOIN一体型圧力・真空ゲージの採用により、一台のATMIONゲージで大気圧から超高真空(1000 〜 1.0x 10-10 mbar)まで計測できます。
  • BAゲージには予備フィラメントが1本準備されています。
  • ATMIONゲージを使用することによってチャンバーのスペースが有効利用できます。
  • 接続フランジとしてCFフランジ、KFフランジが標準で選択出来ます。
  • フィラメント交換が出来る標準型とパッケージ交換用のコンパクト型があります。

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