ATMION(広領域型圧力・真空計)

表示部
- 大気圧から超高真空(1000 〜 1.0 x 10-10 mbar)まで表示出来ます。
- 自動ゲージ切替方式を採用していますので、取扱いが容易です。
- フォアーライン圧力ゲージの表示も行えます(オプション)。
- LEDでデジタル表示されるため、読み取りが容易となっています。
- 4つのset pointが標準装備されています。フォアーライン圧力ゲージ装着時にはさらに2つのset point が装備されます(オプション)。
- mbar,Pa,Torr の3種類の圧力単位が切替表示出来ます。
- 表示部は3桁と対数のデジタル表示となっています。
- RS232C及びアナログ出力が標準装備されています。
- コンパクト設計なので、19インチラックへの取付けが容易です。
検出部
- BAゲージとピラニゲージが1つフランジに装着されたATMOIN一体型圧力・真空ゲージの採用により、一台のATMIONゲージで大気圧から超高真空(1000 〜 1.0x 10-10 mbar)まで計測できます。
- BAゲージには予備フィラメントが1本準備されています。
- ATMIONゲージを使用することによってチャンバーのスペースが有効利用できます。
- 接続フランジとしてCFフランジ、KFフランジが標準で選択出来ます。
- フィラメント交換が出来る標準型とパッケージ交換用のコンパクト型があります。
