★真空用VSS-FV, VSH-FVシリーズ
対応真空度：10 -3 mbar台
対応温度：–20 ℃ to 150 ℃
耐放射線性：10 J/kg
★高真空用VSS-HV, VSH-HVシリーズ
対応真空度：10 -7 mbar台
対応温度：–20 ℃ to 200 ℃
耐放射線性：102 J/kg
★超高真空用VSS-UHV, VSH-UHVシリーズ
対応真空度：10 -11 mbar台
対応温度：–20 ℃ to 300℃
耐放射線性：106 J/kg
★極低温・超高真空用VSS-UHVC, VSH-UHVC Cryoシリーズ
対応真空度：10 -11 mbar台
対応温度：–270 ℃ to 40 ℃
耐放射線性： 10 6 J/kg
共通仕様：
・２相ステッピングモーター（ドライバー付き）
・トルク： 3.4mNm～9.9Nm
・サイズ： 19mm～125mm
・標準ステップ数：200 オプションステップ数：72, 500
・ステップ精度：1.8°で3%、 0.72°で5%
・設計電圧：サイズ19～57= 42VDC サイズ65～125= 200VDC
・リード線：4本 オプション：5, 6, 8本 （500ｍｍ）
・脱ガス用穴付き
★★ 特別注文にて直線モータも製作可能です！！
