海外真空メーカーの日本総代理店　株式会社テクノポート

　M600DC-PS

このM600DC-PSは、スパッタ蒸着用DC電源としてポーランド国のPREVAC社が開発しました。この1台で600W-2400W スパッタ用DC電源として最大3台のスパッタカソードが接続可能です。シャッター制御機能、膜厚計を接続すれば膜厚及びレート表示が可能となり、真空計を接続すれば真空度の表示もできます。マスフローを接続すればフローコントロール制御も可能となり、この1台でスパッタ蒸着装置の制御が可能となります。