取扱商品PRODUCT
3kw E-beam蒸着源 (ISEV3シリーズ)
- 270°静電偏向型
- モジュール型プラグユニットでメンテナンスも簡単
- 高寿命な偏向板を採用
- フィラメントの交換がとても簡単
- セラミックス製絶縁碍子は1ヵ所のみの使用なので安全
- 永久磁石(AlNiCo)を使用
- 確実にビーム位置を調整可能
- 安定したスイープコントロールが可能
ビーム偏向角度 270°
ルツボ数 1個又は4個
ルツボ容量 2cc
最大パワー 3kw
加速電圧 6kv~10kv
フィラメント 12VAC
XYスイープ 50Hz
ビームスポット径 3~4mm
使用材料 超高真空対応
真空度 2×10E-8Torr
水冷水量 0.5gpm
外形 166mm×71mm×60mm
重量 2.7kg