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3kw E-beam蒸着源 (ISEV3シリーズ)

  • 270°静電偏向型
  • モジュール型プラグユニットでメンテナンスも簡単
  • 高寿命な偏向板を採用
  • フィラメントの交換がとても簡単
  • セラミックス製絶縁碍子は1ヵ所のみの使用なので安全
  • 永久磁石(AlNiCo)を使用
  • 確実にビーム位置を調整可能
  • 安定したスイープコントロールが可能

 

ビーム偏向角度      270°

ルツボ数         1個又は4個

ルツボ容量        2cc

最大パワー        3kw

加速電圧         6kv~10kv

フィラメント       12VAC

XYスイープ        50Hz

ビームスポット径     3~4mm

使用材料         超高真空対応

真空度          2×10E-8Torr

水冷水量         0.5gpm

外形           166mm×71mm×60mm

重量           2.7kg

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