海外真空メーカーの日本総代理店　株式会社テクノポート

• 270°静電偏向型
• モジュール型エミッターブロックを採用し、メンテナンスも簡単
• 高寿命な偏向板を採用
• フィラメントの交換がとても簡単
• セラミックス製絶縁碍子は１ヵ所のみの使用なので安全
• 永久磁石（AlNiCo)を使用
• 確実にビーム位置を調整可能
• 安定したスイープコントロールが可能

ビーム偏向角度　　　　　　270°

ルツボ数　　　　　　　　　1個～6個

ルツボ容量　　　　　　　　25ｃｃ、40ｃｃ、75ｃｃ、400ｃｃ

最大パワー　　　　　　　　15ｋｗ

加速電圧　　　　　　　　　6ｋｖ～10ｋｖ

フィラメント　　　　　　　12VAC

XYスイープ　　　　　　　　200Hz

ビームスポット径　　　　　8～10ｍｍ

使用材料　　　　　　　　　超高真空対応

真空度　　　　　　　　　　2×10E-8Torr

水冷水量　　　　　　　　　2～3ｇｐｍ

外形　　　　　　　　　　　284ｍｍ×174ｍｍ×105.6ｍｍ

最新のモジュール型エミッターブロックは

縦型電極で配線も簡単になりました。