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XYZTステージ

 

型式 上部接続フランジ 下部接続フランジ Z駆動 X-Y駆動 チルト ボア径
TTX40-100-50-H ICF70(タップ) ICF152
ICF34ポート4個付き
50mm ±12mm ±2° Φ38mm
TTX40-100-100-H ICF70(タップ) ICF152
ICF34ポート4個付き
100mm ±12mm ±2° Φ38mm
TTX40-100-150-H ICF70(タップ) ICF152
ICF34ポート4個付き
150mm ±12mm ±2° Φ38mm
TTX40-100-200-H ICF70(タップ) ICF152
ICF34ポート4個付き
150mm ±12mm ±2° Φ38mm

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